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年夜连理工告成研发高可靠、低功耗、高迅速度集成传感器 [复制链接]

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揭晓于 2019-5-16 17:23:12 |只看该作者 |倒序浏览

年夜连理工年夜学黄辉教授团队研发了无漏电流“纳米线桥接生长手艺”,处置赏罚赏罚了纳米线器件的排列组装、电极接触及质料稳固性效果,制备出高可靠性(8个月电阻变换率<0.8%)、低功耗(可室温使命)及高迅速度(NO2检测限0.5ppb)的GaN纳米线气体传感器,该传感器可推行至生物检测和应力应变检测等,实验效果揭晓在国际纳米领域顶级期刊“Nano Letters” 。


现阶段,半导体集成电路芯片生长迅速,推动了物联网和人工智能家当的兴起。假定把集成电路比作人脑,传感器就相当于人类的感应器官,二者是相互依存的。可是,传感器(特殊是可集成的微纳传感器)的生长水平,远远滞后于IC的生长水平。是以,微纳传感器(或传感芯片)将是继IC家当以后的此外一严严重年夜家当。

黄辉团队,首次研究了纳米线桥接生长中的寄生群集效应,创作缔造了一种联络气流遮挡效应与外面钝化效应的桥接生长措施,处置赏罚赏罚了寄生群集效果;并首次完成了“无泄电流”的GaN桥接纳米线,在此基础上研制出高稳固性、低功耗和高迅速度的集成纳米线气体传感器。特殊是,GaN质料是第三代半导体,具有优良的稳固性(耐高温、抗氧化、耐酸碱侵蚀)和生物兼容性,适用于严酷情形下的应力应变和液体平和体样品的检测(实验证实氢氟酸侵蚀48小时未对GaN纳米线发生影响),应用领域异常普遍。这项手艺推动了传感器芯片的生长。


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