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ASML妄图2019年出货30台EUV光刻机:新型号3400C将亮相

宣布时间:2019年01月30日 10:01    宣布者:小编
要害词: ASML , EUV , 光刻机 , 3400C
2017年出货11台,2018年出货18台,ASML(阿斯麦)上周体现,妄图在2019年出货30台EUV光刻机。

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现在,ASML占有全球光刻机市场70%的份额,远远争先尼康。更主要的是,仅荷兰ASML有才干制造和出货EUV光刻机,尼康的最高手艺水平还停留在ArF氟化氩沦落堕落式光刻机。

与此同时,ASML将在2019年推临盆能更高的新型号Twinscan NXE: 3400C,取代现款售价1.2亿美元(约合8亿)的Twinscan NXE: 3400B。3400C的每小时晶圆镌刻才干从155片提升至170片,换装Cymer公司的340W光源。

ASML妄图2019年出货30台EUV光刻机:新型号3400C将亮相

质料显示,阻拦去年7月,全球各公司、研究机构等总共仅装配了31台EUV光刻机。不外,遗憾的是,迄今,年夜规模应用EUV(极紫外光刻)手艺的先进工艺仍未量产,三星7nm LPP现实前水平最快,但当下仅限于在S3工厂小规模投产,岁尾位于韩国华城、投资6万亿韩元(约合362亿元)的工厂完工后,将是三星7nm EUV主力厂。

另外,台积电的第二代7nm也将在非要害法式模范上接纳EUV手艺,Intel、SK海力士也都对EUV光刻机有强烈需求。
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