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MEMS手艺及其应用

宣布时间:2011年01月11日 22:01    宣布者:看门狗
要害词: MEMS
MEMS 手艺及其应用
李德胜 等编著
出书社:哈尔滨工业年夜学出书社
出书日期:2002年3月

本书共有八章,在概述微电机手艺的生长配景、现状及应用远景的基础上,简介了MEMS基本现实,随后对MEMS相关工艺做了详实的讲述。作为MEMS应用,划分简介了数种尺度的物理量传感器和化学量传感器的使命原理及制造工艺,对种种微操作器、微机械零件及电系统也做了较量详细的叙述,最后开发一章简介了生物芯片相关手艺。

本书可作为微电子、电机一体化、周详仪器及仪器仪表等专业高年级的教授修养参考书,也可供其他专业师生及有关工程手艺职员参考。

MEMS手艺及其应用.pdf (14.31 MB, 下载次数: 1331)
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wangqi490789 揭晓于 2011-1-12 08:29:05
顶一下,谢谢楼主
lbbook 揭晓于 2011-1-15 14:05:52
谢楼主分享
hszx 揭晓于 2011-2-7 13:01:40
leifu666 揭晓于 2011-2-10 14:50:39
多谢分享  学习学习
youyou_zh 揭晓于 2011-2-11 16:50:11
btma 揭晓于 2011-2-18 02:09:39
原来是微电机手艺呀!
sansanlu 揭晓于 2011-4-3 17:41:22
sansanlu 揭晓于 2011-4-3 17:42:44
guoyanjie1984 揭晓于 2011-5-3 12:01:05
学习学习
nudt_dhl 揭晓于 2011-5-11 19:29:51
thanks for your sharing
rinllow5 揭晓于 2011-5-18 10:42:58
谢谢!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
4321 揭晓于 2011-7-25 09:50:24
thx~~
lixiongfei 揭晓于 2011-8-27 12:28:30
好器械,一起分享!
zhuozc 揭晓于 2012-1-30 20:19:43
多谢
d421011611 揭晓于 2012-5-16 20:46:44
好器械,一起分享!
kismeter 揭晓于 2012-12-12 13:54:42
谢谢
xinger 揭晓于 2013-3-4 10:50:04
好样的
moguojing 揭晓于 2013-4-8 23:37:01
thx~~~
上彀去溜溜 揭晓于 2013-12-4 17:43:17
谢谢分享
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