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2015年12月1-2日微纳电子器件和MEMS可靠性(BEOL)高等培训班 [复制链接]

星纪 (离线)
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楼主
揭晓于 2015-10-19 15:46:26 |只看该作者 |倒序浏览
要害词: 微纳电子器件 , MEMS
为贯彻落实《国家集成电路家当生长推动纲要》,作育一批控制焦点要害手艺,处于天下前沿水平的中青年专家和手艺主干,以高条理人才网网队伍作育推动特点、要害性、基天性焦点领域的所有突破,促进我国软件和集成电路家当一连快速生长,工业和信息化部人才网网交流中央和比利时微电子研究中央IMEC定于2015年12月1-2日在复旦年夜学合营举行“微纳电子器件和MEMS可靠性(BEOL)高等培训班”,约请IMEC首席迷信家、IEEE高等会员、比利时鲁汶年夜学教授Ingrid De Wolf授课。
本课程聚焦于电气互连可靠性、封装可靠性和MEMS可靠性,和可靠性测试措施和掉落效剖析。课程首先重点简介后道工序,探讨电迁徙、电介质击穿、机械应力指导掉落效、3D堆叠等外容。然后解说IC封装、MEMS及其封装的可靠性、应力加速可靠性测试。最后讲述误差形式及影响剖析,并简介可靠性中的掉落效剖析,探讨息争释其原理和尺度应用。
一、主理单元
工业和信息化部人才网网交流中央
比利时微电子研究中央(IMEC)
2、协办单元
复旦年夜学(微电子学院)
麦姆斯咨询
上海阛阓成电路行业协会
长三角IC设计与制造协同创新中央
3、加入工具
本次课程面向相关集成电路企业、科研院所和高等院校从事相关领域的工程师和研究职员。课程接纳全英文授课,不装备翻译,要肄业员具有照顾英语水平。
四、培训部署
培训时间:2015年12月1-2日(2天)
培训所在:复旦年夜学(张江校区),上海市浦东新区张衡路825号
日程部署:11月30日15:00-17:00报到
12月01日8:30举行开班仪式
12月02日17:00举行结业仪式
结业仪式将揭晓工业和信息化部人才网网交流中央和比利时微电子研究中央(IMEC)合营证书,加入培训者可推荐加入国家“软件和集成电路人才网网作育妄图”评选。
五、报名要领
请各单元收到告诉后,起劲选派职员加入。报名阻拦日期为2015年11月26日,请在是日期前将报名回执表传真或发送Email至麦姆斯咨询。
邮件效果名堂为:报名微纳电子器件和MEMS可靠性(BEOL)高等培训班+单元+人数
麦姆斯咨询:
联系人:吴越
电 话:15190305084
E-mail:WuYue@MEMSConsulting.com
六、课程目录
1. 后道工序可靠性
芯片的后道工序由硅片上数层互连铜金属线组成。这些金属线的目的是完成晶体管之间的电气毗连,转达旌旗暗记给外部天下和吸收外部天下的旌旗暗记。经由历程低介电质料使得铜线彼其间完成电气隔离。课程首先将阻拦简要简介,随后将探讨后道工序主要的可靠性效果,即电迁徙、应力指导朴陋和经时绝缘击穿(TDDB)。最后将讲述到应用多孔低介电质料和减薄芯片的3D堆叠的新手艺带来新的掉落效机理,主若是与机械应力有关。这些效果通常被称为芯片封装相互影响(CPI)。
(1) 电迁徙
(2) 应力指导朴陋和经时绝缘击穿
(3) 机械误差,芯片封装相互影响
2. MEMS和封装相关可靠性
关于MEMS和微电子封装,除尺度的电气掉落效机理,能够会泛起许多质料相关和机械效果。首先将简介MEMS的可靠性要求和测试措施并叙述MEMS封装、随后将解说MEMS及其封装中可发生的尺度掉落效机理,解说中将供应多种示例。此外还将议论辩说一些测试该类可靠性的专门措施。在第二部门中,将追念IC芯片封装中能够发生的掉落效机理,并简介一些尺度的测试尺度及相关的效果。
(1) MENS+MEMS封装可靠性和测试
(2) 封装可靠性
3. 掉落效剖析
掉落效形式与影响剖析(FMEA)是严酷评价存在于器件制造、测试和生命周期中潜在效果的有用措施。本节课程从详细解说FMEA措施学泉源,关于任何想要开发新器件的工程师来讲,它是异常有用的,而且它告诉我们一个在制造前的要害评价,能以安然的资源和时间,前进事实产物的可靠性。当产物掉落效时,须要阻拦掉落效剖析,在第二部门中,经由历程详细议论辩说可用于微电子掉落效剖析的多种掉落效剖析手艺,曾经解说了这部特殊容。同时将议论辩说一系列基于电气、光学、电子束、声学、X射线和磁学原理的工具,并展示这些手艺的原理和示例。
(1) 掉落效形式与影响剖析
(2) 掉落效剖析和手艺
7、授课专家简介
Ingrid De Wolf 英格丽•德沃
IMEC首席迷信家,IEEE高等会员,比利时鲁汶年夜学教授
Ingrid De Wolf在比利时鲁汶年夜学取得博士学位。从 1999 到 2014 年,她是IMEC REMO团队带头人,主要研究可靠性、3D手艺测试和建模、互连、MEMS和封装,并加入了IMEC外部的多个主要项目 (3D、互连、光学IO、氮化镓、光刻、PV、MEMS、STT-MRAM等)。她独著或合著有 14篇书籍章节,并揭晓了 350 余篇出书物,其中至少30篇是受邀出书。她还取得了10项专利。
她一再再三在年夜会中取得最好论文奖(ESSDERC、ESREF、ISTFA、EOS/ESD symposium、IEDM),同时数次继续聚会聚会会议主席和手艺委员会成员,而且是ESREF指导委员会成员。她还继续了许多高质量期刊的审稿人。她的web-of-science的h指数的为26,援用文章(不网罗自引文)逾越 2600篇。她在谷歌学术搜索的h指数为 35,引文达5320篇。她任教课程有非破损性测试、MEMS可靠性和掉落效剖析、表征手艺和FMEA。作为一名教授,她指导过逾越20篇的师长教员论文、逾越20篇会见师长教员论文、继续逾越40篇外部博士论文的陪审员,并指导逾越15篇的博士生论文。
zhyu101 (离线)
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沙发
揭晓于 2017-11-26 10:08:27 |只看该作者
这个很给力啊
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