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MEMS

MEMS是微电机系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制造的,集微型机构、微型传感器、微型推行器和旌旗暗记处置赏罚赏罚和控制电路、直至接口、通讯和电源即是一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工手艺和超周详机械加工手艺的生长而生长起来的,现在MEMS加工手艺还被普遍应用于微流控芯片与剖析生物学等领域,从而阻拦生物化学等实验室手艺流程的芯片集成化。

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